岛津 扫描探针显微镜 OLS4100
卓越的测量
接近10nm的高度分辨率和丰富的测量功能，使得各种复杂形貌样品的3D观测可以轻松完成。
更大的样品范围
| ○轻松检测85° 尖锐角 |
○高度分辨率10 nm，轻松测量微小轮廓
由于采用405 nm 的短波长激光和更高数值孔径的物镜，OLS4100 达到了0.12 μm 的平面分辨率。因此，可以对样品的表面进行亚微米的测量。结合高精度的0.8 nm 的光栅读取能力和软件算法，例如奥林巴斯开创的I-Z 曲线（请参阅第23 页），OLS4100 可以分辨出10 nm 的高度差。
克服反射率的差异
OLS4100 采用了双共焦系统，结合高灵敏度的探测器，那些具有不同反射率材料的样品，也能在OLS4100 上获得鲜明的影像。
适用于透明层
| 多层模式 | LEXT OLS4100 全新的多层模式则可以识别多层样品各层上反射光强度的峰值区域，并将各层设为焦点，这样即可实现对透明样品上表面的观察和测量，而且也可以对多层样品的各层进行分析和厚度测量。 |
| 观察／测量透明材料的各个层 | 多层模式可实现对透明样品的顶部的透明层进行观察和测量。即使在玻璃基片上覆有一层透明树脂层，也可测量出各层的形状和粗糙度以及表面覆膜的厚度。 |
工业领域首创* 的两项性能保证
| ○正确性和重复性 通常表示测量仪器的测量精度的，有2 个指标："正确性"，即测量值与真正值的接近程度，和"重复性"，即多次测量值的偏差程度。OLS4100 是业界同时保证了"正确性"和"重复性"的激光扫描显微镜。 |  |
| ○追溯体系 OLS4100 从物镜制造到成品全部在奥林巴斯工厂内完成，并按照一系列严格的标准进行全面的检验并确保产品的质量后方才出厂 。交付产品时，由选拔出来的技术人员，在实际使用环境中执行校正和后的调整。 |